トップページ 会社概要 LTAnna 機能拡張DLL DeviceMap 3Dシミュレーション Annyエディタ
LTech / Integrated Platform

LTAnnaを中心に装置制御と通信を統合

Lua制御、SECS/GEM通信、PLC連携、GUI、3Dシミュレーション、専用IDEを組み合わせ、半導体製造装置向けソフトウェア開発を支援します。

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Anny IDE編集・解析・補完・実行制御
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LTAnnaLua実行・装置制御・DLL拡張
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LTGem / DeviceMapSECS/GEM通信・PLC抽象化
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GUI / 3D装置状態と動作の可視化

半導体製造装置向けソフトウェア基盤

LTAnnaを中心に、LTGem、DeviceMap、GUI、3Dシミュレーション、Annyエディタを組み合わせて、装置制御・通信・検証・開発支援を一体化します。

LTAnna

Luaスクリプトを実行する装置制御エンジン。DLL拡張、ログ、GUI、PLC連携を統合します。

  • Startup.lua / OnStart()
  • UserScript / UserDll分離
  • CSVログ運用

LTGem Series

SECS/GEM通信、HSMS、SECS-I、SECS-IIメッセージ処理、GEM状態管理を支援します。

  • GEMサーバ
  • シミュレータ
  • ログビュアー

DeviceMap

PLCデバイス相当の値を共有する、クライアント・サーバー型の型付き共有デバイス基盤です。

  • IPC推奨
  • 型付きアクセス
  • イベント駆動

3D Simulation

Anna3DViewerにより、搬送ロボットや装置機構を3Dで再現し、実機レス検証を支援します。

Anny Editor

Lua編集、DLL解析、補完、引数ヒント、プロジェクト実行制御を提供するLTAnna専用IDEです。

拡張DLL

C#でpublic staticなAnna関数を実装し、Luaから共通機能や装置固有機能を呼び出します。

構成イメージ

開発、制御、通信、PLC、3D、GUIを疎結合にしながら統合します。

Anny IDE→ LTAnna Lua→ 拡張DLL→ LTGem / DeviceMap→ 装置・PLC・HOST